Kestutis Grigoras

PhD

20122019
If you made any changes in Pure these will be visible here soon.

Research Output 2012 2019

Filter
Conference Poster

(Semi-)transparent ALD TiN microelectrodes

Ryynänen, T., Pelkonen, A., Grigoras, K., Ylivaara, O., Ahopelto, J., Prunnila, M., Narkilahti, S. & Lekkala, J., 27 Jul 2018.

Research output: Contribution to conferenceConference PosterScientificpeer-review

Open Access

Atomic layer deposition of titanium nitride layer on porous silicon supercapacitor electrodes

Grigoras, K., Keskinen, J., Yli-Rantala, E., Laakso, S., Välimäki, H., Kauranen, P., Ahopelto, J. & Prunnila, M., 2014.

Research output: Contribution to conferenceConference PosterScientificpeer-review

titanium nitrides
electrochemical capacitors
atomic layer epitaxy
porous silicon
electrodes

On the early history of atomic layer deposition: most significant works and applications

Aarik, J., Ahvenniemi, E., Akbashev, A. R., Ali, S., Bechelany, M., Berdova, M., Cameron, D., Chekurov, N., Chubarov, M., Drozd, V., Elliott, S., Gottardi, G., Grigoras, K., Hwang, C. S., Junige, M., Kallio, T., Kanervo, J., Khmelnitskiy, I., Koshtyal, Y., Krause, O. & 32 others, Kääriäinen, M-L., Kääriäinen, T., Lamagna, L., Lipsanen, H., Lyytinen, J., Malkov, A., Malygin, A., Molarius, J., Norek, M., Ozgit-Akgun, C., Panov, M., Pedersen, H., Piallat, F., Popov, G., Puurunen, R. L., Pyymaki-Perros, A., Ras, R. H. A., Roozeboom, F., Sajavaara, T., Savin, H., Seidel, T. E., Sundberg, P., Sundqvist, J., Suyatin, D., Tallarida, M., Törndahl, T., Utriainen, M., van Ommen, J. R., Wächtler, T., Wiemer, C., Ylivaara, O. M. E. & Yurkevich, O., 2016.

Research output: Contribution to conferenceConference PosterScientific