Oili M.E. Ylivaara

Research Scientist

20102021
If you made any changes in Pure these will be visible here soon.

Research Output 2010 2019

Filter
Conference Poster
2018

(Semi-)transparent ALD TiN microelectrodes

Ryynänen, T., Pelkonen, A., Grigoras, K., Ylivaara, O., Ahopelto, J., Prunnila, M., Narkilahti, S. & Lekkala, J., 27 Jul 2018.

Research output: Contribution to conferenceConference PosterScientificpeer-review

Open Access
2016

On the early history of atomic layer deposition: most significant works and applications

Aarik, J., Ahvenniemi, E., Akbashev, A. R., Ali, S., Bechelany, M., Berdova, M., Cameron, D., Chekurov, N., Chubarov, M., Drozd, V., Elliott, S., Gottardi, G., Grigoras, K., Hwang, C. S., Junige, M., Kallio, T., Kanervo, J., Khmelnitskiy, I., Koshtyal, Y., Krause, O. & 32 others, Kääriäinen, M-L., Kääriäinen, T., Lamagna, L., Lipsanen, H., Lyytinen, J., Malkov, A., Malygin, A., Molarius, J., Norek, M., Ozgit-Akgun, C., Panov, M., Pedersen, H., Piallat, F., Popov, G., Puurunen, R. L., Pyymaki-Perros, A., Ras, R. H. A., Roozeboom, F., Sajavaara, T., Savin, H., Seidel, T. E., Sundberg, P., Sundqvist, J., Suyatin, D., Tallarida, M., Törndahl, T., Utriainen, M., van Ommen, J. R., Wächtler, T., Wiemer, C., Ylivaara, O. M. E. & Yurkevich, O., 2016.

Research output: Contribution to conferenceConference PosterScientific

Residual stress in thin films made by atomic layer deposition

Ylivaara, O. & Puurunen, R., 2016.

Research output: Contribution to conferenceConference PosterScientificpeer-review

atomic layer epitaxy
residual stress
thin films
ozone
wafers

Tribological properties of atomic layer deposited thin films against silicon

Kilpi, L., Ylivaara, O., Vaajoki, A., Liu, X., Rontu, V., Sintonen, S., Haimi, E., Bosund, M., Tuominen, M., Sajavaara, T., Lipsanen, H., Hannula, S-P., Puurunen, R. & Helena, R., 2016.

Research output: Contribution to conferenceConference PosterScientific