Fotoniikkamoduleita edullisesti

Research output: Contribution to journalArticleProfessional

Abstract

Monikerroksinen lasikeramiikka soveltuu mainiosti fotoniikkamoduulien pohjamateriaaliksi, sillä se on hyvin vakaa ja siihen on mahdollista prosessoida hyvin tiheästi tarkkoja rakenteita valokuvioinnilla. Materiaali on hermeettinen ja tarjoaa lisäksi hyvän lämpölaajenemiskertoimien sovituksen puolijohdesirujen ja liitosalustan välille.
Original languageFinnish
Pages (from-to)29-31
JournalProsessori
Volume26
Issue number3
Publication statusPublished - 2005
MoE publication typeD1 Article in a trade journal

Cite this