MEMS-komponentteja metrologiaan

Translated title of the contribution: Improved MEMS sensors

Research output: Contribution to journalArticleProfessional

Abstract

Uuden sukupolven pienemmät ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80% voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa käyttöön huomattavasti kevennetyllä testausmenettelyllä. Lisäksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.
Original languageFinnish
Pages (from-to)59 - 61
JournalProsessori
Volume23
Issue number11
Publication statusPublished - 2002
MoE publication typeD1 Article in a trade journal

Cite this

@article{e326bf70eaa24f8aaea7b975c5a879e6,
title = "MEMS-komponentteja metrologiaan",
abstract = "Uuden sukupolven pienemm{\"a}t ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80{\%} voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa k{\"a}ytt{\"o}{\"o}n huomattavasti kevennetyll{\"a} testausmenettelyll{\"a}. Lis{\"a}ksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.",
author = "Anu K{\"a}rkk{\"a}inen and Jukka Kyyn{\"a}r{\"a}inen and Aarne Oja and Heikki Sepp{\"a}",
year = "2002",
language = "Finnish",
volume = "23",
pages = "59 -- 61",
journal = "Prosessori",
issn = "0357-4121",
number = "11",

}

MEMS-komponentteja metrologiaan. / Kärkkäinen, Anu; Kyynäräinen, Jukka; Oja, Aarne; Seppä, Heikki.

In: Prosessori, Vol. 23, No. 11, 2002, p. 59 - 61.

Research output: Contribution to journalArticleProfessional

TY - JOUR

T1 - MEMS-komponentteja metrologiaan

AU - Kärkkäinen, Anu

AU - Kyynäräinen, Jukka

AU - Oja, Aarne

AU - Seppä, Heikki

PY - 2002

Y1 - 2002

N2 - Uuden sukupolven pienemmät ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80% voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa käyttöön huomattavasti kevennetyllä testausmenettelyllä. Lisäksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.

AB - Uuden sukupolven pienemmät ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80% voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa käyttöön huomattavasti kevennetyllä testausmenettelyllä. Lisäksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.

M3 - Article

VL - 23

SP - 59

EP - 61

JO - Prosessori

JF - Prosessori

SN - 0357-4121

IS - 11

ER -