MEMS-komponentteja metrologiaan

Translated title of the contribution: Improved MEMS sensors

    Research output: Contribution to journalArticleProfessional

    Abstract

    Uuden sukupolven pienemmät ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80% voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa käyttöön huomattavasti kevennetyllä testausmenettelyllä. Lisäksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.
    Translated title of the contributionImproved MEMS sensors
    Original languageFinnish
    Pages (from-to)59 - 61
    JournalProsessori
    Volume23
    Issue number11
    Publication statusPublished - 2002
    MoE publication typeD1 Article in a trade journal

    Cite this