MEMS-komponentteja metrologiaan

Translated title of the contribution: Improved MEMS sensors

    Research output: Contribution to journalArticleProfessional

    Abstract

    Uuden sukupolven pienemmät ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80% voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa käyttöön huomattavasti kevennetyllä testausmenettelyllä. Lisäksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.
    Original languageFinnish
    Pages (from-to)59 - 61
    JournalProsessori
    Volume23
    Issue number11
    Publication statusPublished - 2002
    MoE publication typeD1 Article in a trade journal

    Cite this

    @article{e326bf70eaa24f8aaea7b975c5a879e6,
    title = "MEMS-komponentteja metrologiaan",
    abstract = "Uuden sukupolven pienemm{\"a}t ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80{\%} voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa k{\"a}ytt{\"o}{\"o}n huomattavasti kevennetyll{\"a} testausmenettelyll{\"a}. Lis{\"a}ksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.",
    author = "Anu K{\"a}rkk{\"a}inen and Jukka Kyyn{\"a}r{\"a}inen and Aarne Oja and Heikki Sepp{\"a}",
    year = "2002",
    language = "Finnish",
    volume = "23",
    pages = "59 -- 61",
    journal = "Prosessori",
    issn = "0357-4121",
    number = "11",

    }

    MEMS-komponentteja metrologiaan. / Kärkkäinen, Anu; Kyynäräinen, Jukka; Oja, Aarne; Seppä, Heikki.

    In: Prosessori, Vol. 23, No. 11, 2002, p. 59 - 61.

    Research output: Contribution to journalArticleProfessional

    TY - JOUR

    T1 - MEMS-komponentteja metrologiaan

    AU - Kärkkäinen, Anu

    AU - Kyynäräinen, Jukka

    AU - Oja, Aarne

    AU - Seppä, Heikki

    PY - 2002

    Y1 - 2002

    N2 - Uuden sukupolven pienemmät ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80% voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa käyttöön huomattavasti kevennetyllä testausmenettelyllä. Lisäksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.

    AB - Uuden sukupolven pienemmät ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80% voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa käyttöön huomattavasti kevennetyllä testausmenettelyllä. Lisäksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.

    M3 - Article

    VL - 23

    SP - 59

    EP - 61

    JO - Prosessori

    JF - Prosessori

    SN - 0357-4121

    IS - 11

    ER -