MEMS-anturit prosessien ja laitteiden kunnonvalvonnassa sekä diagnostiikassa

Jari Halme, Jussi Lehtonen, Risto Parikka

Research output: Book/ReportReport

Original languageFinnish
PublisherVTT Technical Research Centre of Finland
Number of pages24
Publication statusPublished - 2001
MoE publication typeD4 Published development or research report or study

Publication series

SeriesVTT Valmistustekniikka. Tutkimusraportti
NumberBVAL73-011095

Cite this

Halme, J., Lehtonen, J., & Parikka, R. (2001). MEMS-anturit prosessien ja laitteiden kunnonvalvonnassa sekä diagnostiikassa. VTT Technical Research Centre of Finland. VTT Valmistustekniikka. Tutkimusraportti, No. BVAL73-011095