MEMS-anturit prosessien ja laitteiden kunnonvalvonnassa sekä diagnostiikassa

Jari Halme, Jussi Lehtonen, Risto Parikka

Research output: Book/ReportReport

Original languageFinnish
PublisherVTT Technical Research Centre of Finland
Number of pages24
Publication statusPublished - 2001
MoE publication typeD4 Published development or research report or study

Publication series

SeriesVTT Valmistustekniikka. Tutkimusraportti
NumberBVAL73-011095

Cite this

Halme, J., Lehtonen, J., & Parikka, R. (2001). MEMS-anturit prosessien ja laitteiden kunnonvalvonnassa sekä diagnostiikassa. VTT Technical Research Centre of Finland. VTT Valmistustekniikka. Tutkimusraportti, No. BVAL73-011095
Halme, Jari ; Lehtonen, Jussi ; Parikka, Risto. / MEMS-anturit prosessien ja laitteiden kunnonvalvonnassa sekä diagnostiikassa. VTT Technical Research Centre of Finland, 2001. 24 p. (VTT Valmistustekniikka. Tutkimusraportti; No. BVAL73-011095).
@book{f45fa5898bd24cd297f633094bcf87aa,
title = "MEMS-anturit prosessien ja laitteiden kunnonvalvonnassa sek{\"a} diagnostiikassa",
author = "Jari Halme and Jussi Lehtonen and Risto Parikka",
year = "2001",
language = "Finnish",
series = "VTT Valmistustekniikka. Tutkimusraportti",
publisher = "VTT Technical Research Centre of Finland",
number = "BVAL73-011095",
address = "Finland",

}

Halme, J, Lehtonen, J & Parikka, R 2001, MEMS-anturit prosessien ja laitteiden kunnonvalvonnassa sekä diagnostiikassa. VTT Valmistustekniikka. Tutkimusraportti, no. BVAL73-011095, VTT Technical Research Centre of Finland.

MEMS-anturit prosessien ja laitteiden kunnonvalvonnassa sekä diagnostiikassa. / Halme, Jari; Lehtonen, Jussi; Parikka, Risto.

VTT Technical Research Centre of Finland, 2001. 24 p. (VTT Valmistustekniikka. Tutkimusraportti; No. BVAL73-011095).

Research output: Book/ReportReport

TY - BOOK

T1 - MEMS-anturit prosessien ja laitteiden kunnonvalvonnassa sekä diagnostiikassa

AU - Halme, Jari

AU - Lehtonen, Jussi

AU - Parikka, Risto

PY - 2001

Y1 - 2001

M3 - Report

T3 - VTT Valmistustekniikka. Tutkimusraportti

BT - MEMS-anturit prosessien ja laitteiden kunnonvalvonnassa sekä diagnostiikassa

PB - VTT Technical Research Centre of Finland

ER -

Halme J, Lehtonen J, Parikka R. MEMS-anturit prosessien ja laitteiden kunnonvalvonnassa sekä diagnostiikassa. VTT Technical Research Centre of Finland, 2001. 24 p. (VTT Valmistustekniikka. Tutkimusraportti; No. BVAL73-011095).