Abstract
Uuden sukupolven pienemmät ja tarkemmat MEMS-anturit
tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien
tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien
hinnasta jopa 80% voi koostua testaus- ja
kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan
ottaa käyttöön huomattavasti kevennetyllä
testausmenettelyllä. Lisäksi parantuneen suorituskyvyn
ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia
sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi
tarkkuusinstrumentoinnin alalta.
| Translated title of the contribution | Improved MEMS sensors |
|---|---|
| Original language | Finnish |
| Pages (from-to) | 59 - 61 |
| Journal | Prosessori |
| Volume | 23 |
| Issue number | 11 |
| Publication status | Published - 2002 |
| MoE publication type | D1 Article in a trade journal |