MEMS-komponentteja metrologiaan

Anu Kärkkäinen; Jukka Kyynäräinen; Aarne Oja; Heikki Seppä

MEMS-komponentteja metrologiaan

Translated title of the contribution: Improved MEMS sensors

Anu Kärkkäinen
, Jukka Kyynäräinen
, Aarne Oja
, Heikki Seppä

Research output: Contribution to journal › Article › Professional

Abstract

Uuden sukupolven pienemmät ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80% voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa käyttöön huomattavasti kevennetyllä testausmenettelyllä. Lisäksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.

Translated title of the contribution	Improved MEMS sensors
Original language	Finnish
Pages (from-to)	59 - 61
Journal	Prosessori
Volume	23
Issue number	11
Publication status	Published - 2002
MoE publication type	D1 Article in a trade journal

Cite this

@article{e326bf70eaa24f8aaea7b975c5a879e6,

title = "MEMS-komponentteja metrologiaan",

abstract = "Uuden sukupolven pienemm{\"a}t ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80\% voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa k{\"a}ytt{\"o}{\"o}n huomattavasti kevennetyll{\"a} testausmenettelyll{\"a}. Lis{\"a}ksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.",

author = "Anu K{\"a}rkk{\"a}inen and Jukka Kyyn{\"a}r{\"a}inen and Aarne Oja and Heikki Sepp{\"a}",

year = "2002",

language = "Finnish",

volume = "23",

pages = "59 -- 61",

journal = "Prosessori",

issn = "0357-4121",

publisher = "Helsinki Media Company Oy",

number = "11",

}

TY - JOUR

T1 - MEMS-komponentteja metrologiaan

AU - Kärkkäinen, Anu

AU - Kyynäräinen, Jukka

AU - Oja, Aarne

AU - Seppä, Heikki

PY - 2002

Y1 - 2002

N2 - Uuden sukupolven pienemmät ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80% voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa käyttöön huomattavasti kevennetyllä testausmenettelyllä. Lisäksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.

AB - Uuden sukupolven pienemmät ja tarkemmat MEMS-anturit tulevat korvaamaan nykyiset anturit halvempien tuotantokustannusten ansiosta. MEMS-komponenttien hinnasta jopa 80% voi koostua testaus- ja kalibrointikustannuksista. Uudet tarkkuussanturit voidaan ottaa käyttöön huomattavasti kevennetyllä testausmenettelyllä. Lisäksi parantuneen suorituskyvyn ansiosta stabiileille MEMS-komponenteille avautuu uusia sovellusmahdollisuuksia esimerkiksi tarkkuusinstrumentoinnin alalta.

M3 - Article

SN - 0357-4121

VL - 23

SP - 59

EP - 61

JO - Prosessori

JF - Prosessori

IS - 11

ER -

MEMS-komponentteja metrologiaan

Abstract

Fingerprint

Cite this