MEMS-kulut kuriin

Kimmo Henttinen, Suni, Antti Lipsanen, Ismo Luusua, Markku Ylilammi, Hannu Kattelus

    Research output: Contribution to journalArticleProfessional

    Original languageFinnish
    Pages (from-to)40-41
    JournalProsessori
    Issue number2
    Publication statusPublished - 2005
    MoE publication typeD1 Article in a trade journal

    Cite this

    Henttinen, K., Suni, Lipsanen, A., Luusua, I., Ylilammi, M., & Kattelus, H. (2005). MEMS-kulut kuriin. Prosessori, (2), 40-41.