Abstract
| Original language | Finnish |
|---|---|
| Title of host publication | Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta |
| Place of Publication | Espoo |
| Publisher | VTT Technical Research Centre of Finland |
| Pages | 103-114 |
| ISBN (Print) | 951-38-5272-5 |
| Publication status | Published - 1999 |
| MoE publication type | B3 Non-refereed article in conference proceedings |
| Event | Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta - Espoo, Finland Duration: 18 Nov 1999 → 18 Nov 1999 |
Publication series
| Name | VTT Symposium |
|---|---|
| Publisher | VTT |
| Number | 196 |
| ISSN (Print) | 0357-9387 |
| ISSN (Electronic) | 1455-0873 |
Seminar
| Seminar | Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta |
|---|---|
| Country | Finland |
| City | Espoo |
| Period | 18/11/99 → 18/11/99 |
Cite this
}
MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. / Halme, Jari.
Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. Espoo : VTT Technical Research Centre of Finland, 1999. p. 103-114 (VTT Symposium; No. 196).Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference article in proceedings › Scientific
TY - GEN
T1 - MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan
AU - Halme, Jari
PY - 1999
Y1 - 1999
N2 - MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.
AB - MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.
M3 - Conference article in proceedings
SN - 951-38-5272-5
T3 - VTT Symposium
SP - 103
EP - 114
BT - Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta
PB - VTT Technical Research Centre of Finland
CY - Espoo
ER -