@inproceedings{ee1d0449bb7540f6855d3e56ba3c87bc,
title = "MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan",
abstract = "MEMS-anturit ovat pieni{\"a} mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelm{\"a}t on per{\"a}isin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita k{\"a}ytet{\"a}{\"a}n suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, ett{\"a} my{\"o}s teollisuuden kunnonvalvontasovellusten m{\"a}{\"a}r{\"a} tulee l{\"a}hivuosia lis{\"a}{\"a}ntym{\"a}{\"a}n. Artikkelissa esitet{\"a}{\"a}n periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat v{\"a}r{\"a}htely, akustinen emissio ja h{\"a}lytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja k{\"a}ytt{\"o}kelpoisuuden.",
author = "Jari Halme",
year = "1999",
language = "Finnish",
isbn = "951-38-5272-5",
series = "VTT Symposium",
publisher = "VTT Technical Research Centre of Finland",
number = "196",
pages = "103--114",
booktitle = "K{\"a}ytt{\"o}varmuus ja k{\"a}ytt{\"o}kunnon hallinta",
address = "Finland",
note = "null ; Conference date: 18-11-1999 Through 18-11-1999",
}