MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference article in proceedingsScientific

    Abstract

    MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.
    Original languageFinnish
    Title of host publicationKäyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta
    Place of PublicationEspoo
    PublisherVTT Technical Research Centre of Finland
    Pages103-114
    ISBN (Print)951-38-5272-5
    Publication statusPublished - 1999
    MoE publication typeB3 Non-refereed article in conference proceedings
    EventKäyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta - Espoo, Finland
    Duration: 18 Nov 199918 Nov 1999

    Publication series

    SeriesVTT Symposium
    Number196
    ISSN0357-9387

    Seminar

    SeminarKäyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta
    CountryFinland
    CityEspoo
    Period18/11/9918/11/99

    Cite this

    Halme, J. (1999). MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. In Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta (pp. 103-114). Espoo: VTT Technical Research Centre of Finland. VTT Symposium, No. 196
    Halme, Jari. / MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. Espoo : VTT Technical Research Centre of Finland, 1999. pp. 103-114 (VTT Symposium; No. 196).
    @inproceedings{ee1d0449bb7540f6855d3e56ba3c87bc,
    title = "MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan",
    abstract = "MEMS-anturit ovat pieni{\"a} mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelm{\"a}t on per{\"a}isin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita k{\"a}ytet{\"a}{\"a}n suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, ett{\"a} my{\"o}s teollisuuden kunnonvalvontasovellusten m{\"a}{\"a}r{\"a} tulee l{\"a}hivuosia lis{\"a}{\"a}ntym{\"a}{\"a}n. Artikkelissa esitet{\"a}{\"a}n periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat v{\"a}r{\"a}htely, akustinen emissio ja h{\"a}lytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja k{\"a}ytt{\"o}kelpoisuuden.",
    author = "Jari Halme",
    year = "1999",
    language = "Finnish",
    isbn = "951-38-5272-5",
    series = "VTT Symposium",
    publisher = "VTT Technical Research Centre of Finland",
    number = "196",
    pages = "103--114",
    booktitle = "K{\"a}ytt{\"o}varmuus ja k{\"a}ytt{\"o}kunnon hallinta",
    address = "Finland",

    }

    Halme, J 1999, MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. in Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. VTT Technical Research Centre of Finland, Espoo, VTT Symposium, no. 196, pp. 103-114, Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta, Espoo, Finland, 18/11/99.

    MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. / Halme, Jari.

    Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. Espoo : VTT Technical Research Centre of Finland, 1999. p. 103-114 (VTT Symposium; No. 196).

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference article in proceedingsScientific

    TY - GEN

    T1 - MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan

    AU - Halme, Jari

    PY - 1999

    Y1 - 1999

    N2 - MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.

    AB - MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.

    M3 - Conference article in proceedings

    SN - 951-38-5272-5

    T3 - VTT Symposium

    SP - 103

    EP - 114

    BT - Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta

    PB - VTT Technical Research Centre of Finland

    CY - Espoo

    ER -

    Halme J. MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. In Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. Espoo: VTT Technical Research Centre of Finland. 1999. p. 103-114. (VTT Symposium; No. 196).