MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan

Jari Halme

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference article in proceedings › Scientific

Abstract

MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.
Original languageFinnish
Title of host publicationKäyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta
Place of PublicationEspoo
PublisherVTT Technical Research Centre of Finland
Pages103-114
ISBN (Print)951-38-5272-5
Publication statusPublished - 1999
MoE publication typeB3 Non-refereed article in conference proceedings
EventKäyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta - Espoo, Finland
Duration: 18 Nov 1999 → 18 Nov 1999

Publication series

SeriesVTT Symposium
Number196
ISSN0357-9387

Seminar

SeminarKäyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta
CountryFinland
CityEspoo
Period18/11/99 → 18/11/99

Cite this

Halme, J. (1999). MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. In Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta (pp. 103-114). Espoo: VTT Technical Research Centre of Finland. VTT Symposium, No. 196
Halme, Jari. / MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. Espoo : VTT Technical Research Centre of Finland, 1999. pp. 103-114 (VTT Symposium; No. 196).
@inproceedings{ee1d0449bb7540f6855d3e56ba3c87bc,
title = "MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan",
abstract = "MEMS-anturit ovat pieni{\"a} mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelm{\"a}t on per{\"a}isin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita k{\"a}ytet{\"a}{\"a}n suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, ett{\"a} my{\"o}s teollisuuden kunnonvalvontasovellusten m{\"a}{\"a}r{\"a} tulee l{\"a}hivuosia lis{\"a}{\"a}ntym{\"a}{\"a}n. Artikkelissa esitet{\"a}{\"a}n periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat v{\"a}r{\"a}htely, akustinen emissio ja h{\"a}lytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja k{\"a}ytt{\"o}kelpoisuuden.",
author = "Jari Halme",
year = "1999",
language = "Finnish",
isbn = "951-38-5272-5",
series = "VTT Symposium",
publisher = "VTT Technical Research Centre of Finland",
number = "196",
pages = "103--114",
booktitle = "K{\"a}ytt{\"o}varmuus ja k{\"a}ytt{\"o}kunnon hallinta",
address = "Finland",

}

Halme, J 1999, MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. in Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. VTT Technical Research Centre of Finland, Espoo, VTT Symposium, no. 196, pp. 103-114, Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta, Espoo, Finland, 18/11/99.

MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. / Halme, Jari.

Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. Espoo : VTT Technical Research Centre of Finland, 1999. p. 103-114 (VTT Symposium; No. 196).

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference article in proceedings › Scientific

TY - GEN

T1 - MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan

AU - Halme, Jari

PY - 1999

Y1 - 1999

N2 - MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.

AB - MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.

M3 - Conference article in proceedings

SN - 951-38-5272-5

T3 - VTT Symposium

SP - 103

EP - 114

BT - Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta

PB - VTT Technical Research Centre of Finland

CY - Espoo

ER -

Halme J. MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. In Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. Espoo: VTT Technical Research Centre of Finland. 1999. p. 103-114. (VTT Symposium; No. 196).