MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan

Jari Halme

MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference article in proceedings › Scientific

Abstract

MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.

Original language	Finnish
Title of host publication	Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta
Place of Publication	Espoo
Publisher	VTT Technical Research Centre of Finland
Pages	103-114
ISBN (Print)	951-38-5272-5
Publication status	Published - 1999
MoE publication type	B3 Non-refereed article in conference proceedings
Event	Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta - Espoo, Finland Duration: 18 Nov 1999 → 18 Nov 1999

Publication series

Series	VTT Symposium
Number	196
ISSN	0357-9387

Seminar

Seminar	Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta
Country/Territory	Finland
City	Espoo
Period	18/11/99 → 18/11/99

Cite this

@inproceedings{ee1d0449bb7540f6855d3e56ba3c87bc,

title = "MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan",

abstract = "MEMS-anturit ovat pieni{\"a} mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelm{\"a}t on per{\"a}isin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita k{\"a}ytet{\"a}{\"a}n suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, ett{\"a} my{\"o}s teollisuuden kunnonvalvontasovellusten m{\"a}{\"a}r{\"a} tulee l{\"a}hivuosia lis{\"a}{\"a}ntym{\"a}{\"a}n. Artikkelissa esitet{\"a}{\"a}n periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat v{\"a}r{\"a}htely, akustinen emissio ja h{\"a}lytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja k{\"a}ytt{\"o}kelpoisuuden.",

author = "Jari Halme",

year = "1999",

language = "Finnish",

isbn = "951-38-5272-5",

series = "VTT Symposium",

publisher = "VTT Technical Research Centre of Finland",

number = "196",

pages = "103--114",

booktitle = "K{\"a}ytt{\"o}varmuus ja k{\"a}ytt{\"o}kunnon hallinta",

address = "Finland",

note = "K{\"a}ytt{\"o}varmuus ja k{\"a}ytt{\"o}kunnon hallinta ; Conference date: 18-11-1999 Through 18-11-1999",

}

TY - GEN

T1 - MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan

AU - Halme, Jari

PY - 1999

Y1 - 1999

N2 - MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.

AB - MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.

M3 - Conference article in proceedings

SN - 951-38-5272-5

T3 - VTT Symposium

SP - 103

EP - 114

BT - Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta

PB - VTT Technical Research Centre of Finland

CY - Espoo

T2 - Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta

Y2 - 18 November 1999 through 18 November 1999

ER -