Abstract
MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita,
joiden valmistusmenetelmät on peräisin
mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään
suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta
on odotettavissa, että myös teollisuuden
kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia
lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla
tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja
prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun
teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana
ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen
kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien
yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen
asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun
MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.
| Original language | Finnish |
|---|---|
| Title of host publication | Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta |
| Place of Publication | Espoo |
| Publisher | VTT Technical Research Centre of Finland |
| Pages | 103-114 |
| ISBN (Print) | 951-38-5272-5 |
| Publication status | Published - 1999 |
| MoE publication type | B3 Non-refereed article in conference proceedings |
| Event | Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta - Espoo, Finland Duration: 18 Nov 1999 → 18 Nov 1999 |
Publication series
| Series | VTT Symposium |
|---|---|
| Number | 196 |
| ISSN | 0357-9387 |
Seminar
| Seminar | Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta |
|---|---|
| Country | Finland |
| City | Espoo |
| Period | 18/11/99 → 18/11/99 |
Cite this
Halme, J. (1999). MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. In Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta (pp. 103-114). VTT Technical Research Centre of Finland. VTT Symposium, No. 196