MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference article in proceedingsScientific

    Abstract

    MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.
    Original languageFinnish
    Title of host publicationKäyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta
    Place of PublicationEspoo
    PublisherVTT Technical Research Centre of Finland
    Pages103-114
    ISBN (Print)951-38-5272-5
    Publication statusPublished - 1999
    MoE publication typeB3 Non-refereed article in conference proceedings
    EventKäyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta - Espoo, Finland
    Duration: 18 Nov 199918 Nov 1999

    Publication series

    SeriesVTT Symposium
    Number196
    ISSN0357-9387

    Seminar

    SeminarKäyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta
    CountryFinland
    CityEspoo
    Period18/11/9918/11/99

    Cite this