MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan

Jari Halme

MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference article in proceedings › Scientific

Abstract

MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.

Original language	Finnish
Title of host publication	Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta
Place of Publication	Espoo
Publisher	VTT Technical Research Centre of Finland
Pages	103-114
ISBN (Print)	951-38-5272-5
Publication status	Published - 1999
MoE publication type	B3 Non-refereed article in conference proceedings
Event	Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta - Espoo, Finland Duration: 18 Nov 1999 → 18 Nov 1999

Publication series

Series	VTT Symposium
Number	196
ISSN	0357-9387

Seminar

Seminar	Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta
Country	Finland
City	Espoo
Period	18/11/99 → 18/11/99

Cite this

Halme, J. (1999). MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. In Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta (pp. 103-114). Espoo: VTT Technical Research Centre of Finland. VTT Symposium, No. 196

Halme, Jari. / MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. Espoo : VTT Technical Research Centre of Finland, 1999. pp. 103-114 (VTT Symposium; No. 196).

@inproceedings{ee1d0449bb7540f6855d3e56ba3c87bc,

title = "MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan",

abstract = "MEMS-anturit ovat pieni{\"a} mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelm{\"a}t on per{\"a}isin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita k{\"a}ytet{\"a}{\"a}n suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, ett{\"a} my{\"o}s teollisuuden kunnonvalvontasovellusten m{\"a}{\"a}r{\"a} tulee l{\"a}hivuosia lis{\"a}{\"a}ntym{\"a}{\"a}n. Artikkelissa esitet{\"a}{\"a}n periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat v{\"a}r{\"a}htely, akustinen emissio ja h{\"a}lytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja k{\"a}ytt{\"o}kelpoisuuden.",

author = "Jari Halme",

year = "1999",

language = "Finnish",

isbn = "951-38-5272-5",

series = "VTT Symposium",

publisher = "VTT Technical Research Centre of Finland",

number = "196",

pages = "103--114",

booktitle = "K{\"a}ytt{\"o}varmuus ja k{\"a}ytt{\"o}kunnon hallinta",

address = "Finland",

}

Halme, J 1999, MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. in Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. VTT Technical Research Centre of Finland, Espoo, VTT Symposium, no. 196, pp. 103-114, Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta, Espoo, Finland, 18/11/99.

MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. / Halme, Jari.

Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. Espoo : VTT Technical Research Centre of Finland, 1999. p. 103-114 (VTT Symposium; No. 196).

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference article in proceedings › Scientific

TY - GEN

T1 - MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan

AU - Halme, Jari

PY - 1999

Y1 - 1999

N2 - MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.

AB - MEMS-anturit ovat pieniä mikromekaanisia antureita, joiden valmistusmenetelmät on peräisin mikroelektroniikasta. Yleisimmin MEMS-antureita käytetään suurivolyymisissa autoteollisuuden sovelluksissa, mutta on odotettavissa, että myös teollisuuden kunnonvalvontasovellusten määrä tulee lähivuosia lisääntymään. Artikkelissa esitetään periaatetasolla tekniset vaiheet MEMS-anturielementin suunnittelusta ja prosessoinnista valmiiksi koteloituun ja testattuun teollisuuden kunnonvalvonta-anturiin. Mittauksista mukana ovat värähtely, akustinen emissio ja hälytysrajatyyppinen kaasumittaus. Kaikkien mittausketjussa tarvittavien osien yhteensopivuus ja niiden sovittautuminen mittauskohteen asettamiin vaatimuksiin ratkaisee valmistetun MEMS-anturin toiminnan ja käyttökelpoisuuden.

M3 - Conference article in proceedings

SN - 951-38-5272-5

T3 - VTT Symposium

SP - 103

EP - 114

BT - Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta

PB - VTT Technical Research Centre of Finland

CY - Espoo

ER -

Halme J. MEMS-mikroantureiden kehitys koneiden kunnonvalvontaan. In Käyttövarmuus ja käyttökunnon hallinta. Espoo: VTT Technical Research Centre of Finland. 1999. p. 103-114. (VTT Symposium; No. 196).