Mikromekaaniset MEMS-anturit ja niiden käytettävyys kunnonvalvonnassa

    Research output: Book/ReportReport

    Original languageFinnish
    PublisherVTT Technical Research Centre of Finland
    Number of pages40
    Publication statusPublished - 1997
    MoE publication typeD4 Published development or research report or study

    Publication series

    SeriesVALB
    Number255

    Cite this

    Halme, J. (1997). Mikromekaaniset MEMS-anturit ja niiden käytettävyys kunnonvalvonnassa. VTT Technical Research Centre of Finland. VALB, No. 255
    Halme, Jari. / Mikromekaaniset MEMS-anturit ja niiden käytettävyys kunnonvalvonnassa. VTT Technical Research Centre of Finland, 1997. 40 p. (VALB; No. 255).
    @book{3c4225dd26a6477e9dadc5e2de9d2e99,
    title = "Mikromekaaniset MEMS-anturit ja niiden k{\"a}ytett{\"a}vyys kunnonvalvonnassa",
    author = "Jari Halme",
    year = "1997",
    language = "Finnish",
    series = "VALB",
    publisher = "VTT Technical Research Centre of Finland",
    number = "255",
    address = "Finland",

    }

    Halme, J 1997, Mikromekaaniset MEMS-anturit ja niiden käytettävyys kunnonvalvonnassa. VALB, no. 255, VTT Technical Research Centre of Finland.

    Mikromekaaniset MEMS-anturit ja niiden käytettävyys kunnonvalvonnassa. / Halme, Jari.

    VTT Technical Research Centre of Finland, 1997. 40 p. (VALB; No. 255).

    Research output: Book/ReportReport

    TY - BOOK

    T1 - Mikromekaaniset MEMS-anturit ja niiden käytettävyys kunnonvalvonnassa

    AU - Halme, Jari

    PY - 1997

    Y1 - 1997

    M3 - Report

    T3 - VALB

    BT - Mikromekaaniset MEMS-anturit ja niiden käytettävyys kunnonvalvonnassa

    PB - VTT Technical Research Centre of Finland

    ER -

    Halme J. Mikromekaaniset MEMS-anturit ja niiden käytettävyys kunnonvalvonnassa. VTT Technical Research Centre of Finland, 1997. 40 p. (VALB; No. 255).