Mikromekaaniset MEMS-anturit ja niiden käytettävyys kunnonvalvonnassa

    Research output: Book/ReportReport

    Original languageFinnish
    PublisherVTT Technical Research Centre of Finland
    Number of pages40
    Publication statusPublished - 1997
    MoE publication typeD4 Published development or research report or study

    Publication series

    SeriesVALB
    Number255

    Cite this

    Halme, J. (1997). Mikromekaaniset MEMS-anturit ja niiden käytettävyys kunnonvalvonnassa. VTT Technical Research Centre of Finland. VALB, No. 255