Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa

Markku Ylilammi

Research output: Contribution to journalArticleProfessional

Original languageFinnish
Pages (from-to)54-57
JournalSähkö
Volume57
Issue number11
Publication statusPublished - 1984
MoE publication typeD1 Article in a trade journal

Cite this

Ylilammi, M. (1984). Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa. Sähkö, 57(11), 54-57.
Ylilammi, Markku. / Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa. In: Sähkö. 1984 ; Vol. 57, No. 11. pp. 54-57.
@article{4cc41aeac06549acb0c5d1049f173763,
title = "Ohut- ja paksukalvotekniikan k{\"a}ytt{\"o} mikroantureissa",
author = "Markku Ylilammi",
year = "1984",
language = "Finnish",
volume = "57",
pages = "54--57",
journal = "S{\"a}hk{\"o} ja Tele",
issn = "0789-676X",
publisher = "S{\"a}hk{\"o}insin{\"o}{\"o}riliitto SIL",
number = "11",

}

Ylilammi, M 1984, 'Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa', Sähkö, vol. 57, no. 11, pp. 54-57.

Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa. / Ylilammi, Markku.

In: Sähkö, Vol. 57, No. 11, 1984, p. 54-57.

Research output: Contribution to journalArticleProfessional

TY - JOUR

T1 - Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa

AU - Ylilammi, Markku

PY - 1984

Y1 - 1984

M3 - Article

VL - 57

SP - 54

EP - 57

JO - Sähkö ja Tele

JF - Sähkö ja Tele

SN - 0789-676X

IS - 11

ER -