Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa

Markku Ylilammi

    Research output: Contribution to journal › Article › Professional

    Original languageFinnish
    Pages (from-to)54-57
    JournalSähkö
    Volume57
    Issue number11
    Publication statusPublished - 1984
    MoE publication typeD1 Article in a trade journal

    Cite this

    Ylilammi, M. (1984). Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa. Sähkö, 57(11), 54-57.
    Ylilammi, Markku. / Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa. In: Sähkö. 1984 ; Vol. 57, No. 11. pp. 54-57.
    @article{4cc41aeac06549acb0c5d1049f173763,
    title = "Ohut- ja paksukalvotekniikan k{\"a}ytt{\"o} mikroantureissa",
    author = "Markku Ylilammi",
    year = "1984",
    language = "Finnish",
    volume = "57",
    pages = "54--57",
    journal = "S{\"a}hk{\"o} ja Tele",
    issn = "0789-676X",
    publisher = "S{\"a}hk{\"o}insin{\"o}{\"o}riliitto SIL",
    number = "11",

    }

    Ylilammi, M 1984, 'Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa', Sähkö, vol. 57, no. 11, pp. 54-57.

    Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa. / Ylilammi, Markku.

    In: Sähkö, Vol. 57, No. 11, 1984, p. 54-57.

    Research output: Contribution to journal › Article › Professional

    TY - JOUR

    T1 - Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa

    AU - Ylilammi, Markku

    PY - 1984

    Y1 - 1984

    M3 - Article

    VL - 57

    SP - 54

    EP - 57

    JO - Sähkö ja Tele

    JF - Sähkö ja Tele

    SN - 0789-676X

    IS - 11

    ER -

    Ylilammi M. Ohut- ja paksukalvotekniikan käyttö mikroantureissa. Sähkö. 1984;57(11):54-57.