Piin anisotrooppinen märkäetsaus

    Research output: Book/ReportReport

    Abstract

    Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on tärkeä menetelmä kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitetään piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesyöpymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan eräitä kirjallisuudessa esitettyjä anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.
    Original languageFinnish
    Place of PublicationEspoo
    PublisherVTT Technical Research Centre of Finland
    Number of pages49
    ISBN (Print)951-38-1641-9
    Publication statusPublished - 1983
    MoE publication typeD4 Published development or research report or study

    Publication series

    SeriesValtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita
    Number176
    ISSN0358-5085

    Cite this

    Ylilammi, M. (1983). Piin anisotrooppinen märkäetsaus. VTT Technical Research Centre of Finland. Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita, No. 176