Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on
tärkeä menetelmä kolmiulotteisten mikrorakenteiden
valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti
isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita.
Esitetään piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja
alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien
toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset
etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien
allesyöpymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan eräitä
kirjallisuudessa esitettyjä anisotrooppisella etsauksella
valmistettuja rakenteita.
| Original language | Finnish |
|---|
| Place of Publication | Espoo |
|---|
| Publisher | VTT Technical Research Centre of Finland |
|---|
| Number of pages | 49 |
|---|
| ISBN (Print) | 951-38-1641-9 |
|---|
| Publication status | Published - 1983 |
|---|
| MoE publication type | D4 Published development or research report or study |
|---|
| Series | Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita |
|---|
| Number | 176 |
|---|
| ISSN | 0358-5085 |
|---|