Piin anisotrooppinen märkäetsaus

Markku Ylilammi

    Research output: Book/ReportReport

    Abstract

    Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on tärkeä menetelmä kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitetään piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesyöpymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan eräitä kirjallisuudessa esitettyjä anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.
    Original languageFinnish
    Place of PublicationEspoo
    PublisherVTT Technical Research Centre of Finland
    Number of pages49
    ISBN (Print)951-38-1641-9
    Publication statusPublished - 1983
    MoE publication typeD4 Published development or research report or study

    Publication series

    SeriesValtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita
    Number176
    ISSN0358-5085

    Fingerprint

    silicon
    alkalis

    Cite this

    Ylilammi, M. (1983). Piin anisotrooppinen märkäetsaus. Espoo: VTT Technical Research Centre of Finland. Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita, No. 176
    Ylilammi, Markku. / Piin anisotrooppinen märkäetsaus. Espoo : VTT Technical Research Centre of Finland, 1983. 49 p. (Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita; No. 176).
    @book{aebb504fc0ce4556acfac56b26ea78c5,
    title = "Piin anisotrooppinen m{\"a}rk{\"a}etsaus",
    abstract = "Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on t{\"a}rke{\"a} menetelm{\"a} kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitet{\"a}{\"a}n piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesy{\"o}pymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan er{\"a}it{\"a} kirjallisuudessa esitettyj{\"a} anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.",
    author = "Markku Ylilammi",
    year = "1983",
    language = "Finnish",
    isbn = "951-38-1641-9",
    series = "Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita",
    publisher = "VTT Technical Research Centre of Finland",
    number = "176",
    address = "Finland",

    }

    Ylilammi, M 1983, Piin anisotrooppinen märkäetsaus. Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita, no. 176, VTT Technical Research Centre of Finland, Espoo.

    Piin anisotrooppinen märkäetsaus. / Ylilammi, Markku.

    Espoo : VTT Technical Research Centre of Finland, 1983. 49 p. (Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita; No. 176).

    Research output: Book/ReportReport

    TY - BOOK

    T1 - Piin anisotrooppinen märkäetsaus

    AU - Ylilammi, Markku

    PY - 1983

    Y1 - 1983

    N2 - Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on tärkeä menetelmä kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitetään piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesyöpymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan eräitä kirjallisuudessa esitettyjä anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.

    AB - Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on tärkeä menetelmä kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitetään piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesyöpymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan eräitä kirjallisuudessa esitettyjä anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.

    M3 - Report

    SN - 951-38-1641-9

    T3 - Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita

    BT - Piin anisotrooppinen märkäetsaus

    PB - VTT Technical Research Centre of Finland

    CY - Espoo

    ER -

    Ylilammi M. Piin anisotrooppinen märkäetsaus. Espoo: VTT Technical Research Centre of Finland, 1983. 49 p. (Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita; No. 176).