Piin anisotrooppinen märkäetsaus

Markku Ylilammi

Research output: Book/ReportReportProfessional

Abstract

Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on tärkeä menetelmä kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitetään piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesyöpymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan eräitä kirjallisuudessa esitettyjä anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.
Original languageFinnish
Place of PublicationEspoo
PublisherVTT Technical Research Centre of Finland
Number of pages49
ISBN (Print)951-38-1641-9
Publication statusPublished - 1983
MoE publication typeD4 Published development or research report or study

Publication series

NameTiedotteita / Valtion teknillinen tutkimuskeskus
PublisherVTT
Volume176

Fingerprint

silicon
alkalis

Cite this

Ylilammi, M. (1983). Piin anisotrooppinen märkäetsaus. Espoo: VTT Technical Research Centre of Finland. Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita, No. 176
Ylilammi, Markku. / Piin anisotrooppinen märkäetsaus. Espoo : VTT Technical Research Centre of Finland, 1983. 49 p. (Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita; No. 176).
@book{aebb504fc0ce4556acfac56b26ea78c5,
title = "Piin anisotrooppinen m{\"a}rk{\"a}etsaus",
abstract = "Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on t{\"a}rke{\"a} menetelm{\"a} kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitet{\"a}{\"a}n piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesy{\"o}pymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan er{\"a}it{\"a} kirjallisuudessa esitettyj{\"a} anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.",
author = "Markku Ylilammi",
year = "1983",
language = "Finnish",
isbn = "951-38-1641-9",
series = "Tiedotteita / Valtion teknillinen tutkimuskeskus",
publisher = "VTT Technical Research Centre of Finland",
address = "Finland",

}

Ylilammi, M 1983, Piin anisotrooppinen märkäetsaus. Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita, no. 176, VTT Technical Research Centre of Finland, Espoo.

Piin anisotrooppinen märkäetsaus. / Ylilammi, Markku.

Espoo : VTT Technical Research Centre of Finland, 1983. 49 p. (Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita; No. 176).

Research output: Book/ReportReportProfessional

TY - BOOK

T1 - Piin anisotrooppinen märkäetsaus

AU - Ylilammi, Markku

PY - 1983

Y1 - 1983

N2 - Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on tärkeä menetelmä kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitetään piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesyöpymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan eräitä kirjallisuudessa esitettyjä anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.

AB - Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on tärkeä menetelmä kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitetään piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesyöpymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan eräitä kirjallisuudessa esitettyjä anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.

M3 - Report

SN - 951-38-1641-9

T3 - Tiedotteita / Valtion teknillinen tutkimuskeskus

BT - Piin anisotrooppinen märkäetsaus

PB - VTT Technical Research Centre of Finland

CY - Espoo

ER -

Ylilammi M. Piin anisotrooppinen märkäetsaus. Espoo: VTT Technical Research Centre of Finland, 1983. 49 p. (Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita; No. 176).