Stability of electrostatic actuation of MEMS
- Anu Kärkkäinen
- , Aarne Oja
- , Jukka Kyynäräinen
- , Heikki Kuisma
- , Heikki Seppä
- Murata Electronics Oy
Research output: Contribution to journal › Article › Scientific › peer-review
19
Link opens in a new tab
Citations
(Scopus)