@book{c0140663f59246e68df7f64ca770ef97,
title = "Timantti- ja timantinkaltaiset pinnoitteet: Raportti perusominaisuuksista, kasvatusmenetelmist{\"a} ja karakterisoinnista",
abstract = "Timantti- ja timantinkaltaisiin pinnoitteisiin kohdistuva tutkimus on kasvanut voimakkaasti koko 80-luvun. T{\"a}m{\"a} johtuu p{\"a}{\"a}asiassa siit{\"a}, en{\"a} 70-luvulla onnistuttiin Neuvostoliitossa valmistamaan timanttipinnoitteita matalassa paineessa kemiallista kaasufaasipinnoitus- (CVD) -menetelm{\"a}{\"a} k{\"a}ytt{\"a}en. Koska timantilla on monia {\"a}{\"a}rimm{\"a}isi{\"a} materiaaliominaisuuksia, liittyy n{\"a}iden pinnoitteiden sovelluksiin suuria kaupallisia odotuksia. Tribologia ja puolijohdeteollisuus ovat osoittaneet suurinta mielenkiintoa. T{\"a}m{\"a}n hetken tietojen mukaan on esimerkiksi Yhdysvalloissa valmistettu yli yhden millimetrin paksuja timanttipinnoitteita CVD-menetelm{\"a}ll{\"a} ty{\"o}kalujen pinnalle. Puolijohdeteollisuudessa puolestaan odotetaan timanttikalvoilla olevan erinomaisia ominaisuuksia sek{\"a} aktiivisina ett{\"a} passiivisina mikroelektroniikan osina. Suurpainemenetelm{\"a} on toinen tapa erityisesti paksujen timanttipinnoitteiden valmistamiseksi. T{\"a}ss{\"a} menetelm{\"a}ss{\"a} sintrataan timanttikerros ty{\"o}kalun pinnalle timanttifaasille stabiileissa olosuhteissa, tyypillisesti 6 GPa:n paineessa ja 1500 oC:n l{\"a}mp{\"o}tilassa. My{\"o}s n{\"a}iden pinnoitteiden suurimpana k{\"a}ytt{\"o}kohteena ovat tribologiset sovellukset. Vaikka timantti- ja timantinkaltaisten pinnoitteiden sovellusten etsiminen onkin t{\"a}ll{\"a} hetkell{\"a} voimakasta, liittyy esimerkiksi pinnoitteiden kasvatukseen ja karakterisointiin my{\"o}s lukuisia tieteellisi{\"a} haasteita. T{\"a}m{\"a} pit{\"a}{\"a} paikkansa erityisesti matalapainetekniikan tapauksessa. Tutkimuslaitoksissa ymp{\"a}ri maailmaa onkin perustettu ryhmi{\"a}, joissa eri alojen kuten fysiikan, kemian ja materiaalitieteen edustajat yritt{\"a}v{\"a}t yhdess{\"a} ratkaista timantti- ja timantinkaltaisiin pinnoitteisiin liittyvi{\"a} ongelmia. Kuluva vuosikymmen tulleekin n{\"a}kem{\"a}{\"a}n lukuisia l{\"a}pimurtoja t{\"a}ll{\"a} mielenkiintoisella tutkimusalueella.",
keywords = "diamonds, coatings, analyzing, chemical vapor deposition, sintering, tribology, semiconductors (materials), microelectronics, tools",
editor = "Juha-Pekka Hirvonen",
year = "1991",
language = "Finnish",
isbn = "951-38-4026-3",
series = "Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita",
publisher = "VTT Technical Research Centre of Finland",
number = "1293",
address = "Finland",
}